میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM) یکی از پرکاربردترین ابزارهای تصویربرداری در علوم مواد، زیستشناسی و مهندسی است که برای مشاهدهی سطح نمونهها با وضوح بسیار بالا استفاده میشود. در این سیستم، پرتو باریک الکترونی بهصورت نقطهبهنقطه سطح نمونه را اسکن میکند و سیگنالهای حاصل از برهمکنش الکترونها با اتمهای سطح برای تشکیل تصویر جمعآوری میشوند. نتیجه، تصویری سهبعدی با عمق میدان زیاد و جزئیات نانومتری از بافت یا سطح ماده است.
در SEM، الکترونها توسط تفنگ الکترونی (Electron Gun) تولید میشوند و پس از عبور از لنزهای مغناطیسی روی سطح نمونه متمرکز میگردند. الکترونهای بازتابی و ثانویه توسط آشکارسازها جمعآوری میشوند و هر نوع سیگنال، اطلاعات متفاوتی از نمونه ارائه میدهد؛ برای مثال، الکترونهای ثانویه (SE) توپوگرافی سطح و الکترونهای بازتابی (BSE) ترکیب عنصری و اختلاف چگالی را نشان میدهند.
مدلهای مدرن SEM مانند BSEM-691 و BSEM-691LV از برند BestScope، علاوه بر وضوح 3 نانومتر، امکان کار در حالت خلأ بالا و پایین را فراهم کردهاند. این ویژگی اجازه میدهد نمونههای نارسانا، زیستی یا مرطوب بدون پوشش فلزی نیز بررسی شوند. قابلیت تغییر ولتاژ شتابدهنده (0.2 تا 30 kV) دقت مشاهده و نفوذ پرتو را در مواد مختلف کنترل میکند.
با افزودن ماژولهای تحلیلی مانند EDS (آنالیز انرژیپراکنده پرتو X) و WDS، میکروسکوپ روبشی از یک ابزار تصویربرداری صرف فراتر رفته و به سامانهای کامل برای آنالیز شیمیایی و ساختاری سطح تبدیل شده است. SEM امروزه نقش کلیدی در کنترل کیفیت صنعتی، تحلیل مواد نانو، مطالعه ریزساختار فلزات و حتی تشخیص پزشکی ایفا میکند.
