قدرت تفکیک: تا ‎۳ نانومتر
بزرگ‌نمایی: ۱ تا ۳۰۰٬۰۰۰ برابر
تفنگ الکترونی: فیلامان تنگستنی از پیش تنظیم‌شده
ولتاژ شتاب‌دهنده: ۰٫۲ تا ۳۰ کیلوولت، قابل تنظیم پیوسته
سیستم لنز: سه‌مرحله‌ای الکترومغناطیسی با کارایی بالا
دیافراگم شیئی: سه اندازه، قابل تعویض بدون بازکردن لنز
سیستم خلأ: پمپ توربومولکولی و مکانیکی (اختیاری بدون‌روغن)
خلأ اتاقک نمونه بهتر از ‎2.6×10⁻³ Pa
مدل LV دارای خلأ پایین ‎10–270 Pa و تعویض خودکار سریع بین حالت‌ها
آشکارسازها: SE، BSE، IRCCD
پشتیبانی از تجهیزات جانبی مانند WDS، EDS، EBSD و غیره

استیج موتوردار پنج‌محوره:
X: ‎0–80mm‎، Y: ‎0–50mm‎، Z: ‎0–30mm‎، Tilt: ‎−5°~+70°‎، Rotation: ‎360°‎
ظرفیت نمونه تا قطر ‎175mm‎ و ارتفاع ‎40mm‎
نسخه‌ی اختیاری تا ‎150×150mm‎ و ارتفاع ‎80mm‎
دارای هشدار تماس و توقف خودکار

پردازش تصویر:
وضوح ‎4096×3072‎ پیکسل
فرمت‌های ذخیره: TIF، BMP، GIF، JPG، PNG

ایستگاه کاری:
پردازنده Xeon، رم ‎16GB‎، حافظه ‎500GB SSD + 1TB HDD‎، کارت گرافیک ‎4GB‎، نمایشگر ‎24‎ اینچ، ویندوز ۱۰

کنترل نرم‌افزاری:
تنظیم خودکار ولتاژ، جریان فیلامان، فوکوس، کنتراست و روشنایی
حالت‌های مختلف اسکن (نقطه‌ای، سطحی، خطی)، حذف خودکار آستیگماتیسم، اندازه‌گیری چندمقیاسی، ذخیره و فریز تصویر، و حالت Quick View