میکروسکوپ BS-4050NIR
ویژگی های محصول
- مدل : BS-4050NIR
- بزرگنمایی : ۵۰ تا ۵۰۰ برابر
- عدسی چشمی: PL10X با میدان دید ۲۲ میلیمتر
- عدسی های شیئی : 5X , 10X , 20X , 50X
- صفحه نمونه : سهلایه با اندازهی ۸ اینچ
- سیستم روشنایی: NIR Halogen Light / با ۱۲ ولت و ۱۰۰ وات
معرفی میکروسکوپ BS-4050NIR
سیستم تصویربرداری میکروسکوپ صنعتی فروسرخ نزدیک BS-4050NIR از تجهیزات پیشرفتهی بازرسی فروسرخ در صنعت به شمار میرود و راهحلهای مؤثر و کارآمدی را برای آزمونهای صنعتی ارائه میدهد.
میکروسکوپ BS-4050NIR با بهرهگیری از نوردهی میدان گسترده و آشکارسازی آرایهای سطحی، امکان تصویربرداری در طیف وسیع، میدان دید بزرگ و وضوح بالا را فراهم میکند.
این سامانه قابلیت تصویربرداری و مشاهدهی بلادرنگ (Real-time) از تراشههای بستهبندیشده و ساختارهای درونی ویفرها را دارد و تصاویر بسیار شفاف و دقیق با طیف فوقالعاده وسیع ارائه میدهد.
بازهی طیفی فروسرخ (900 تا 1700 نانومتر) محدودهی وسیعی از طولموجها را پوشش میدهد، درحالیکه پراکندگی اندک و نفوذ قوی در ویفرهای سیلیکونی و ژرمانیومی دارد.
عدسی شیئی با دهانه عددی بالا (N.A.) و حلقهی تصحیح (Correction Ring) میتواند انحرافات ناشی از تفاوت ضخامت لایههای پوششی را حذف کرده و با دقت بالا بازرسی فروسرخ مؤثر و دقیق انجام دهد. طراحی ارگونومیک دستگاه نیز بیشترین کارایی در زمان کاربری طولانی را برای کاربر فراهم میسازد.
ویژگی ها :
۱. دوربین فروسرخ اختصاصی با طیف وسیع
میکروسکوپ BS-4050NIR از یک دوربین فروسرخ اختصاصی با طیف گسترده استفاده میکند که امکان مشاهده در زمینه روشن (Bright Field) و ناحیهی فروسرخ را فراهم میسازد. این سیستم دارای نوردهی میدانی (Field Illumination)، میدان دید گسترده و وضوح تصویری بالا است.
با بهرهگیری از فیلتر رنگی Bandpass برای آشکارسازی آرایهای سطحی (Area Array Detection)، دستگاه میتواند به نواحی مختلف تراشه درون ویفر سیلیکونی پاسخ دهد و نیازهای متنوع کاربران در زمینهی بازرسی فروسرخ صنعتی را برآورده کند.
3.2mega pixel
1.3mega pixel
۲. Epi-illuminator (روشنساز بازتابی از بالا)
اجزای اپتیکی بهکاررفته در این روشنساز دارای شفافیت تقویتشده در بازهی طیفی ۴۰۰ تا ۱۷۰۰ نانومتر هستند. کاربر میتواند بین زمینهی روشن (Bright Field) و زمینهی فروسرخ (Infrared Field) انتخاب کند. این سیستم با طیف وسیع، پراکندگی کم و قدرت نفوذ بالا در ویفرهای سیلیکونی و ورقههای ژرمانیومی شناخته میشود.
سیستم بهطور خودکار دیافراگم نوری (Aperture Diaphragm) را با بزرگنمایی عدسی شیئی تطبیق میدهد، بنابراین نیازی به تنظیم دستی نیست. این ویژگی باعث میشود کاربران مختلف بتوانند بهسرعت و با کارایی بالا تصویری با کیفیت و شرایط نوری یکنواخت به دست آورند.
۳. عدسی شیئی ویژهی فروسرخ
سیستم تصویربرداری میکروسکوپ صنعتی فروسرخ BS-4050NIR به مجموعهای از عدسیهای شیئی فروسرخ حرفهای با بزرگنمایی 5X تا 50X مجهز است که قادر به تصحیح انحرافات اپتیکی (Aberration Correction) از ناحیهی مرئی تا فروسرخ نزدیک میباشند. این عدسیها برای مشاهدهی معمول در زمینه روشن و نیز برای مشاهدهی اختصاصی در ناحیهی فروسرخ مناسباند.
در عدسیهای شیئی با بزرگنمایی بالا و دهانه عددی (N.A.) بزرگتر، یک حلقهی تصحیح (Correction Ring) تعبیه شده است تا انحرافات ناشی از تفاوت ضخامت لایههای پوششی (Overlay Thickness) را اصلاح کند. این ویژگی امکان تشخیص دقیق و با وضوح بالا در ناحیهی فروسرخ نزدیک را فراهم میسازد.
۴. کشوی فیلتر چندخانه (Multi-hole Filter Slider)
در این سیستم از کشوی فیلتر چندخانه استفاده شده است که شامل فیلترهای رنگی فروسرخ نزدیک با باند عبوری (Bandpass) در طولموجهای ۱۱۰۰، ۱۲۰۰ و ۱۳۰۰ نانومتر میباشد. کاربر میتواند بهصورت سریع بین باندهای مختلف جابهجا شود.
با استفاده از فیلترگذاری ثانویه با پهنای باند باریک (Narrow-band Secondary Filtering)، دستگاه قادر است پاسخ نوری ساختارهای متفاوت در نمونه را آشکار کرده و تصاویر با وضوح بالا و جزئیات دقیق تولید کند.
۵. میز مکانیکی بزرگ (Large Mechanical Stage)
در سیستم تصویربرداری میکروسکوپ صنعتی فروسرخ BS-4050NIR از دکمهی کلاچ (Clutch Button) استفاده شده است. کاربر میتواند با فشردن این دکمه، میز نمونه را بهصورت آزاد و سریع حرکت دهد، بدون آنکه نیاز به گرفتن مداوم دستگیره باشد. با رها کردن همان دکمه، حرکت سریع لغو میشود. این طراحی باعث میشود دستان کاربر در حین کار طولانی آزاد بماند و سرعت مشاهده افزایش یابد.
میز مکانیکی مجهز به سازوکار ریل دقیق (Precision Rail Mechanism) است که حرکت نرمتر و روانتر را فراهم کرده و در نتیجه پایداری و دقت دستگاه را بهطور چشمگیری افزایش میدهد.
ChatGPT said:
قابلیت توانمندسازی نرمافزاری با هوش مصنوعی (AI Software Empowerment)
سیستم مجهز به قابلیت یادگیری خودکار (AI Self-Learning) است که بر اساس عیوب موجود در نمونهها آموزش میبیند و قادر به انجام شناسایی خودکار عیوب، ثبت (Capture)، شمارش آماری (Counting Statistics) و سایر تحلیلهای مرتبط میباشد.
همچنین، این نرمافزار میتواند بر اساس نیازهای خاص هر مشتری بهصورت سفارشی (Customized) پیکربندی و توسعه داده شود.
کاربرد ها
۱. مشاهده در میدان روشن (روشنایی بازتابی):
استفاده از روشنایی کهلر بازتابی (Koehler Reflected Illumination) همراه با عدسیهای متالوگرافی Plan Achromatic با فاصله کاری بلند (LWD).
این ترکیب، تصویری شفاف، تخت و با وضوح یکنواخت از بزرگنماییهای پایین تا بالا فراهم میکند.
Non-destructive inspection for CSP/SIP
Non-destructive analysis of bad chip packaging
