قدرت تفکیک :
BSEM-691: ‎3nm (در 30kV SE)، ‎8nm (در 3kV SE)، ‎4nm (در 30kV BSE)
BSEM-691LV: ‎3nm (در خلأ بالا SE)، ‎4nm (در خلأ بالا BSE)، پشتیبانی از خلأ پایین

بزرگ‌نمایی : ۱ تا ۳۰۰,۰۰۰ برابر

تفنگ الکترونی : کاتد فیلامان تنگستنی از پیش تنظیم‌شده

ولتاژ شتاب‌دهنده : قابل تنظیم پیوسته از 0.2 تا 30 کیلوولت

سیستم لنز : سه‌مرحله‌ای الکترومغناطیسی با کارایی بالا

دیافراگم شیئی : سه اندازه، قابل تعویض بدون نیاز به بازکردن لنز

سیستم خلأ : پمپ توربو مولکولی و پمپ مکانیکی (با گزینه بدون‌روغن)
خلأ اتاقک نمونه بهتر از ‎2.6×10⁻³ Pa
مدل LV با محدوده خلأ پایین ‎10–270 Pa و تعویض خودکار سریع بین حالت‌ها

آشکارسازها :
الکترون ثانویه (SE)، الکترون بازتابی (BSE)، دوربین IRCCD
دارای بیش از ده رابط توسعه برای نصب تجهیزات WDS، EDS، EBSD و غیره

استیج موتوردار پنج‌محوره :
X=0–80mm، Y=0–50mm، Z=0–30mm، Tilt=-5°~+70°، چرخش=360°
بار نمونه تا قطر ‎175mm و ارتفاع ‎40mm
دارای سیستم هشدار برخورد و توقف خودکار
نسخه اختیاری با حرکت تا 150×150mm و ارتفاع 80mm

پردازش تصویر :
وضوح ‎4096×3072 پیکسل
فرمت‌های خروجی: TIF، BMP، GIF، JPG، PNG

ایستگاه کاری :
پردازنده Xeon، رم 16GB، SSD ‎500GB + HDD ‎1TB، کارت گرافیک مستقل 4GB، مانیتور ۲۴ اینچ، ویندوز ۱۰ دو زبانه

کنترل نرم‌افزاری :
کنترل خودکار ولتاژ، جریان فیلامان، چگالی کانون، فوکوس، کنتراست، روش‌های اسکن نقطه‌ای و سطحی، تنظیم آستیگماتیسم، مقیاس‌گذاری، مدیریت پارامترها، پیش‌نمایش تصویر، تنظیم خودکار روشنایی و کنتراست، و قابلیت Quick View